滑動式CVD設(shè)備_1200℃_單/雙/多溫區(qū) 此款設(shè)備是一套化學(xué)氣相沉積生長系統(tǒng),可包含加熱系統(tǒng)、控溫系統(tǒng)、滑動裝置、質(zhì)量氣體流量控制、真空控制系統(tǒng)、預(yù)加熱系統(tǒng)等模塊,根據(jù)工藝要求多模塊自由組合,并可擴(kuò)展升級配置,節(jié)約成本。適用于多種經(jīng)典化學(xué)氣相沉積工藝。
產(chǎn)品型號:
更新時間:2026-09-14
廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
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